CN120152417A 氧化铝氮化硅叠层钝化薄膜及其制备方法、晶体硅电池 (常州比太科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-05-12 发布于重庆
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CN120152417A 氧化铝氮化硅叠层钝化薄膜及其制备方法、晶体硅电池 (常州比太科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120152417A

(43)申请公布日2025.06.13

(21)申请号202510286476.4C23C16/50(2006.01)

C23C16/34(2006.01)

(22)申请日2025.03.12

(71)申请人常州比太科技有限公司

地址213000江苏省常州市武进高新技术

产业开发区凤翔路7号

(72)发明人刘奇尧刘家安朱广乾

(74)专利代理机构常州市科佑新创专利代理有

限公司32672

专利代理师沈煜

(51)Int.Cl.

H10F7

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