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武汉瑞芯科技有限责任公司

无尘车间管理制度

管理程序

5．1无尘车间施工管理制度

5．2无尘车间洁净度定期检测制度/测量标准

5．3无尘车间人员管理制度

5．4无尘车间洁净服管理制度

5．5无尘车间物流/洁净室内设备及工器具管理制度

5．6无尘车间清洁、清扫和灭菌管理

5．7无尘车间洁净室安全管理

车间管理流程

4.1货物进出要求

4.2外来人员进出规范

4.3施工人员进出作业要求

1．0无尘车间管理的目的

半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求，为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产，必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。

2．0无尘车间管理的原则

进入洁净室的管理，包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理，应做到不得将微粒、微生物带入无尘车间。

操作管理技术，对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗；操作人员的移动和动作；室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等，尽可能地减少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。

严格各类设备、设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备、设施按要求正常运转，包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以确保产品