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CN120177901A 工件台运行状态的监测方法、系统及设备 （东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-05-12 发布于重庆
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CN120177901A 工件台运行状态的监测方法、系统及设备 （东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN120177901A

    (43)申请公布日2025.06.20

    (21)申请号202510296668.3

    (22)申请日2025.03.13

    (71)申请人东方晶源微电子科技（北京）股份有

    限公司

    地址100176北京市大兴区北京经济技术

    开发区经海四路156号院12号楼

    (72)发明人邢举

    (74)专利代理机构北京东方亿思知识产权代理

    有限责任公司11258

    专利代理师贺琳

    (51)Int.Cl.

    G01R31/00(2006.01)

    权利要求书2页说明书13页附图2页

    (54)发明名称

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