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- 2026-05-12 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120161882A
(43)申请公布日2025.06.17
(21)申请号202510300457.2
(22)申请日2025.03.13
(71)申请人拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公
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