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真空泵操作手册

一、真空泵类型及工作原理

1.1气体传输型真空泵

1.1.1容积式真空泵

旋片式真空泵

旋片泵通过偏心安装的转子带动旋片在泵腔内旋转，利用旋片与泵壁形成的可变容积实现抽气。转子旋转时，两端旋片在离心力作用下紧贴泵壁，将泵腔分隔为吸气区和排气区。吸气区容积扩大形成负压吸入气体，排气区容积缩小压缩气体，最终通过排气阀排出。双级旋片泵由两个单级泵串联组成，可获得更高真空度（10?2Pa级别），广泛应用于实验室和电子行业。

罗茨真空泵

泵体内两个8字形转子高速反向旋转，通过精密啮合将气体从进气端推向排气端。转子与泵壳间隙仅微米级，无需润滑但需配合前级泵使用。其抽气速率大、启动快，适用于半导体制造和真空冶金等领域。

水环真空泵

叶轮偏心安装在泵壳内，启动前注入工作液（通常为水），叶轮旋转时水在离心力作用下形成紧贴泵壳的水环。水环与叶轮轮毂间形成多个月牙形空间，随叶轮旋转容积周期性变化：进气侧空间扩大吸气，排气侧空间缩小压缩气体。因水可吸收压缩热，特别适合处理易燃易爆气体，在化工、制药行业应用广泛。

1.1.2动量传输型真空泵

涡轮分子泵

高速旋转的叶轮（转速可达数万转/分钟）撞击气体分子，赋予其定向动量使其向排气口运动。多层动叶轮与静叶轮交替排列，可实现10??Pa的超高真空，是半导体光刻机、核磁共振仪的核心设备。

喷射泵

通过高压流体（水、蒸汽或氮气）喷射形成负压，吸