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- 2026-05-12 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120149161A
(43)申请公布日2025.06.13
(21)申请号202510292369.2
(22)申请日2025.03.12
(71)申请人芯联先锋集成电路制造（绍兴）有限
公司
地址312000浙江省绍兴市越城区皋埠街
道临江路518号-17
(72)发明人宋健阚杰
(74)专利代理机构北京磐华捷成知识产权代理
有限公司11851
专利代理师于沈阳
(51)Int.Cl.
H01L21/265(2006.01)
权利要求书1页说明书7页附图3页
(54)发明名称
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