CN119546796A 成膜装置以及成膜方法 （Jsw Afty公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119546796A

(43)申请公布日2025.02.28

(21)申请号202380048510.3

(22)申请日2023.07.28

(30)优先权数据

2022-1267452022.08.09JP2023-1192512023.07.21JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.19

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0278032023.07.28

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/034435JA2024.02.15

(71)申请人JSWAFTY公司

地址日本神奈川

(72)发明人鸟居博典

(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司11240

专利代理师纪秀凤

(51)Int.Cl.

C23C14/34(2006.01)

C23C14/06(2006.01)

C23C14/35(2006.01)

H01L21/203(2006.01)

权利要求书2页说明书14页附图8页

(54)发明名称

成膜装置以及成膜方法

(57)摘要

CN119546796A提高ECR等离子体技术的有用性。在成膜装置（1）中，在基板（SUB）的表面堆积通过使离子（构成ECR等离子体的离子）与安