半导体工艺仿真实验指导书.pdfVIP

半导体工艺仿真实验指导书

--基于silvacoTCAD

光电学院微电子研中心

王智鹏

2014.3

本指导书首先介绍了silvacoTCAD半导体工艺仿真软件的安装方法、主

要界面信息与基本命令。然后分别从半导体工艺仿真与半导体器件仿真入手，重

点介绍了silvacoTCAD软件的仿真操作。

本指导书适用于《半导体工艺及器件仿真实验》、《半导体器件仿真综合课程

设计》课程学。

一、silvacoTCAD软件概述

1、软件的安装

a)1、运行安装文件，出现如图1.1的安装向导界面，勾选在“Install

LicenseServern选项，点击Next,即开始安装程序。

图1.1silvacoTCAD安装向导界面

b)安装完毕后，根据提示，设置6位数服务器密码。并保留图1