CN119546967A 扫描型探针显微镜和控制方法 （株式会社岛津制作所）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119546967A

(43)申请公布日2025.02.28

(21)申请号202380053485.8

(22)申请日2023.06.07

(30)优先权数据

2022-1131252022.07.14JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.13

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0210952023.06.07

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/014186JA2024.01.18

(71)申请人株式会社岛津制作所地址日本

(72)发明人藤野敬太

(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277

专利代理师刘新宇张文慧

(51)Int.Cl.

G01Q10/02(2006.01)

G01Q60/24(2006.01)

权利要求书2页说明书15页附图9页

(54)发明名称

扫描型探针显微镜和控制方法

(57)摘要

CN119546967A检测机构(110)获取第一信息和第二信息，所述第一信息是表示悬臂在Z轴方向上的位置的信息，所述第二信息是表示试样(S)在Z轴方向上的位置或者试样台(14)在Z轴方向上的位置的信息。接近处理部(104)基于第一信息和第二信息来决定速度下降位置。