CN119553225A 一种高附着类金刚石薄膜镀膜方法 （深圳市锦瑞新材料股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119553225A

(43)申请公布日2025.03.04

(21)申请号202510119804.1

(22)申请日2025.01.25

(71)申请人深圳市锦瑞新材料股份有限公司

地址518000广东省深圳市光明区公明街

道下村社区第二工业区13号201整片

(72)发明人金烈佘自力

(74)专利代理机构深圳市海顺达知识产权代理

有限公司44831

专利代理师蔡星

(51)Int.Cl.

C23C14/06(2006.01)

C23C14/35(2006.01)

C23C14/16(2006.01)

C23C14/32(2006.01)

C23C16/26(2006.01)

C23C16/513(2006.01)

C23C28/00(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图1页

(54)发明名称

一种高附着类金刚石薄膜镀膜方法

(57)摘要

CN119553225A本发明涉及合金表面镀膜技术领域，尤其涉及一种高附着类金刚石薄膜镀膜方法。上述高附着类金刚石薄膜镀膜方法包括如下步骤：将合金基材进行超声清洗，烘干，真空状态下160_200℃保温1_2h，氩气保护下等离子体清洗10_30min，得到预处理合金；以钛为靶材，向预处理合金表面