CN120138571A 一种靶材表面的加工方法 (宁波江丰电子材料股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-05-13 发布于重庆
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CN120138571A 一种靶材表面的加工方法 (宁波江丰电子材料股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120138571A

(43)申请公布日2025.06.13

(21)申请号202510298902.6

(22)申请日2025.03.13

(71)申请人宁波江丰电子材料股份有限公司

地址315400浙江省宁波市余姚市经济开

发区名邦科技工业园区安山路

(72)发明人姚力军戴振茜钟伟华

(74)专利代理机构北京远智汇知识产权代理有

限公司11659

专利代理师牛海燕

(51)Int.Cl.

C23C14/34(2006.01)

B23P9/02(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图1页

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