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- 2026-05-14 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120199713A
(43)申请公布日2025.06.24
(21)申请号202510306413.0
(22)申请日2025.03.14
(71)申请人江苏微导纳米科技股份有限公司
地址214028江苏省无锡市新吴区长江南
路27号
(72)发明人严大汤宋波
(74)专利代理机构深圳市威世博知识产权代理
事务所(普通合伙)44280
专利代理师石惠
(51)Int.Cl.
H01L21/677(2006.01)
C23C16/455(2006.01)
C23C16/52(2006.01)
H10F71/00(2025.01)
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