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微电子器件长期稳定性研究

目录

内容概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

微电子器件长期稳定性理论基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.1稳定性概念与评价指标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.2影响稳定性的因素分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.3稳定性退化机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

微电子器件长期稳定性实验研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.1实验方案设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.2实验方法与设备．．．．．．