薄膜在机械领域的应用.pptVIP

薄膜技术在机械领域的应用;;手段和目的：采用化学的、物理的方法改变材料或工件表面的化学成分或组织结构以提高机器零件或材料性能。

方法：包括化学热处理(渗氮、渗碳、渗金属等);表面涂层(低压等离子喷涂、低压电弧喷涂、激光重熔复合等薄膜镀层(物理气相沉积、化学气相沉积等)和非金属涂层技术等。

作用：赋予零件耐高温、防腐蚀、耐磨损、抗疲劳、防辐射、导电、导磁等各种新的特性。使原来在高速、高温、高压、重载、腐蚀介质环境下工作的零件，提高了可靠性、延长了使用寿命。;应用概况;超硬薄膜材料;金刚石钹形磨轮;类金刚石薄膜（DLC）

制备：DLC是一种以碳或以碳和氢为主要成分的非晶碳基薄膜材料。制备方法包括CVD（离子束辅助，直流等离子体，射频等离子体和微波放电等）和PVD（阴极电弧沉积，溅射碳靶和脉冲激光熔融等）方法。

性能：与金刚石膜的性质很相近，具有很多优良的力学、电学、光学、热学和声学等物理性质，如高硬度、耐磨损、表面光洁度高、低电阻率、高透光率，又有十分好的化学稳定性。极高的硬度(具有接近金刚石的高硬度)和优异的抗磨损性能，适于作切削刀具、轴承、齿轮及活塞等易磨损机件的镀层；耐腐蚀(防酸、防碱)性能好，可以防止酸、碱及有机试剂的侵蚀；摩擦系数低(0.005~0.002)，表面非常平滑，在装饰工业及生命科学等领域都具有很好的应用前景

应用：作为功能薄膜和保护薄膜，其广泛应用于机械、电子