精细陶瓷 采用平行光束 X 射线衍射法测定单晶薄膜（晶圆）结晶质量的方法.pdfVIP

精细陶瓷采用平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜（晶圆）结晶

质量的方法

1范围

本文规定了采用平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜（晶圆）结晶质量的方法。本文件适用于所有

块体或外延层结构的单晶薄膜（晶圆）。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

单晶singlecrystal

在材料的所有区域具有相同原子排列的晶体材料。

3.2

斜切角off-cutangle

单晶薄膜中特定晶体学取向与样品表面形成的角度。

注：在单晶薄膜（晶圆）的外延生长过程中，斜切角是决定薄膜生长行为的关键条件。

3.3

化学机械抛光chemicalmechanicalpolishing

CMP

由化学溶液或研磨颗粒组成的浆料产生的化学作用和研磨机的机械作用相结合，使样品表面平整的

过程。

3.4

布拉格衍射Braggdiffraction

光的波长与晶面间距、光线与衍射晶面间夹角的关系。

注：公式如下

2⋅sin=⋅…………