CN119563140A 用于监测空间光调制器（slm）耀斑的系统和方法 （株式会社尼康）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119563140A

(43)申请公布日2025.03.04

(21)申请号202380037627.1

(22)申请日2023.05.02

(30)优先权数据

63/337,6822022.05.03US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.10.31

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2023/0207172023.05.02

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2023/215310EN2023.11.09

(71)申请人株式会社尼康地址日本东京都

(72)发明人多尼斯·G·弗拉杰罗顾祥龙袁宝山

(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所

11256

专利代理师陈伟闫剑平

(51)Int.Cl.

G03F7/00(2006.01)

权利要求书4页说明书13页附图7页

(54)发明名称

用于监测空间光调制器（SLM）耀斑的系统和方法

(57)摘要

CN119563140A利用使用空间成像系统来监测与无掩膜光刻系统相关联的耀斑的系统及方法，而解决无掩

CN119563140A

CN119563140A权利要求书1/4页

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