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金属深刻蚀工艺赋能钛基微小零件制造：技术、应用与展望

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代制造业持续发展的进程中，对零部件的精度、性能以及微型化的要求日益严苛。金属深刻蚀工艺和钛基微小零件制造技术作为先进制造领域的关键组成部分，正受到学术界和工业界的高度关注。

金属深刻蚀工艺能够在金属材料表面实现高精度、高深宽比的微纳结构加工，为制造具有特殊功能和复杂形状的金属零部件提供了可能。在微电子领域，通过深刻蚀工艺可制造出超精细的金属线路和微机电系统（MEMS）部件，极大地推动了芯片集成度和性能的提升；在光学领域，利用该工艺制备的金属微纳结构可实现对光的精确调控，应用于新型光学器件，如超材料透镜、