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微电子器件物理特性研究与建模方法

目录

内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.3研究目标与内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

微电子器件物理基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.1微电子器件的分类与特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.2材料科学基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.3器件工作原理概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

物理特性分析方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.1电学特性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.2光学特性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．