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化学气相沉积工艺进展

目录

内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1化学气相沉积技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2发展历程与现状分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.3研究意义与趋势展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

化学气相沉积核心原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.1反应机理与动力学分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.2沉积过程热力学研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

化学气相沉积主要类型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.1低压化学气相沉积法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.2增压化学气相沉积法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

3.3木村化学气相沉积法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

3.4其他衍生沉积技术．．．．．．．．．．．．．．