电子元器件抗ESD技术.docx

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时间:2021年x月x日

书山有路勤为径,学海无涯苦作舟

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电子元器件抗ESD技术讲义

引言

随着电子元器件技术的发展,静电对元器件应用造成的危害越来越明显。

一方面,电子元器件不断向轻、薄、短、小、高密度、多功能等方向发展,因而元器件的尺寸越来越小,尤其是微电子器件,COMSIC中亚微米栅已进入实用化,栅条宽度达到0.18um,栅氧厚度为几个nm或几十个?,栅氧的击穿电压小于20V。尺寸的减小,就使电子元器件对静电变得更加敏感。而大量新发展起来的特种器件如G

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