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CN119581384A 晶圆上料偏位校正方法、装置、设备及存储介质 （上海感图网络科技有限公司）.docxVIP

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  • 2026-05-19 发布于山西
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CN119581384A 晶圆上料偏位校正方法、装置、设备及存储介质 （上海感图网络科技有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119581384A

    (43)申请公布日2025.03.07

    (21)申请号202411680040.5

    (22)申请日2024.11.22

    (71)申请人上海感图网络科技有限公司

    地址201100上海市闵行区宜山路1618号8

    幢C102室

    (72)发明人侯晓峰朱磊张弛刘远刚

    (74)专利代理机构无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)32260

    专利代理师朱晓林

    (51)Int.Cl.

    H01L21/68(2006.01)

    H01L21/67(2006.01)

    G06

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