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微尺度应力测量技术及仪器应用研究

目录

微尺度应力测量技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

应力测量基本理论与方法基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

2.1应力场表征方法解析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

2.2微尺度效应与传统应力理论的关联与区分．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

微尺度应力感知与转换机制研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

3.1基于物理/光学/电学的微应力转换原理探究．．．．．．．．．．．．．．．．．9

3.2微尺度界面效应与材料特性对测量精度影响分析．．．．．．．．．．．．12

3.3高精度微力/微位移检测技术的关联研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

微尺寸特征与应力关系定量辨识方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

4.1微结构尺寸变化与应力耦合模型建立．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

4.2尺寸不稳定性的成因分析与应力反演计算．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

微应力测量专用设备的结构构思与部件集成．．．．．．．．．．．．．．．．．22

5.1精密微操纵组件与传感系统集成设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

5.2控制与反