CN119585851A 控制程序、信息处理程序、控制方法、信息处理方法、等离子体处理装置以及信息处理装置 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119585851A

(43)申请公布日2025.03.07

(21)申请号202380053613.9

(22)申请日2023.07.14

(30)优先权数据

2022-1173822022.07.22JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.14

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0260162023.07.14

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/019004JA2024.01.25

(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本

(72)发明人竹田谅平高山航近江宗行

八重樫圭太富永翔高良穰二

(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277

专利代理师刘新宇李靖

(51)Int.Cl.

H01L21/3065(2006.01)

H05H1/46(2006.01)

权利要求书3页说明书14页附图10页

(54)发明名称

控制程序、信息处理程序、控制方法、信息处理方法、等离子体处理装置以及信息处理装置

(57)摘要

CN119585851A提供一种控制程序、信息处理程序、控制方法、信息处理方法、等离子体处理装置以及信息处理装置。一种控制程序，是通过向等离子体