CN119776977A 促进碳化硅晶体稳定生长的装置及其工作方法 （常州臻晶半导体有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119776977A

(43)申请公布日2025.04.08

(21)申请号202510289945.8

(22)申请日2025.03.12

(71)申请人常州臻晶半导体有限公司

地址213000江苏省常州市武进国家高新

技术产业开发区武宜南路377号19号

厂房一层东

(72)发明人钱昊尹祖荣陆敏

(74)专利代理机构常州市科佑新创专利代理有

限公司32672

专利代理师钮云涛

(51)Int.Cl.

C30B15/20(2006.01)

C30B15/30(2006.01)

C30B29/36(2006.01)