CN119804995A 晶圆的电阻率检测装置及方法 (浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-05-18 发布于重庆
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CN119804995A 晶圆的电阻率检测装置及方法 (浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119804995A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202510289592.1G01R1/04(2006.01)

G01R1/073(2006.01)

(22)申请日2025.03.12

(71)申请人浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限

公司

地址323000浙江省丽水市莲都区南明山

街道绿谷大道309号国际车城15号楼

11层-241

(72)发明人徐新华

(74)专利代理机构浙江维创盈嘉专利代理有限

公司33477

专利代理师胡根平

(51)

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