CN119585854A 评价装置、评价方法和计算机程序 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119585854A

(43)申请公布日2025.03.07

(21)申请号202380054506.8

(22)申请日2023.07.20

(30)优先权数据

2022-1187902022.07.26JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.17

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0266052023.07.20

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/024631JA2024.02.01

(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本

(72)发明人守屋刚长池宏史

(74)专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限

公司11322

专利代理师龙淳何中文

(51)Int.Cl.

H01L21/3065(2006.01)

H01L21/31(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附图6页

(54)发明名称

评价装置、评价方法和计算机程序

(57)摘要

CN119585854A本发明提供评价装置、评价方法和计算机程序。评价装置包括：获取关于组装在基片处理装置的部件的表面温度分布的数据的获取部；和基于获取到的关于所述部件的表面温度分布的数

CN119585854A

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