T_CI 961-2025 半导体设备用碳化硅陶瓷零部件.docxVIP

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团体标准

T/CI961—2025

半导体设备用碳化硅陶瓷零部件

Siliconcarbideceramiccomponentsforsemiconductorequipment

2025-04-15发布2025-04-15实施

中国国际科技促进会

发布

Ⅰ

T/CI961—2025

目次

前言 Ⅲ

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4产品分类 1

4.1按结构形状分类 1

4.2按功能分类 2

4.3按制备工艺不同分类 2

5技术要求 2

5.1物理机械性能 2

5.2化学性能 3

5.3外观 3

5.4碳化硅粉体 3

6试验方法 4

6.1体积密度 4

6.2抗弯强度 4

6.3硬度 4

6.4弹性模量 4

6.5热膨胀系数 4