CN119804330A 晶圆检测光源亮度的自适应调控方法及装置 （深圳市晟大光电有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119804330A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202510301440.9

(22)申请日2025.03.14

(71)申请人深圳市晟大光电有限公司

地址518000广东省深圳市宝安区石岩街

道上屋社区爱群路同富裕工业区8-6#

厂房一层、二层、三层、四层、五层

(72)发明人王敏军李国鑫

(74)专利代理机构北京华艺德嘉知识产权代理

有限公司16326

专利代理师王爱军

(51)Int.Cl.

G01N21/01(2006.01)

G01N21/95(2006.01)