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半导体关键环节自主突破的技术路线与瓶颈突破

目录

一、技术发展蓝图与战略目标解析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

二、高品质半导体材料供给体系攻克．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

2.1晶圆核心材料国产化替代工程实施策略．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

2.2先进封装互联材料/键合丝厚度规格与性能导向突破．．．．．．．．10

2.3特种化学品关键制程工艺瓶颈应对．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.4国产靶材及抛光液市场渗透与质量提升路径．．．．．．．．．．．．．．．13

三、高端设备制造能力构建与技术突围