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电容式双端固支梁碳化硅MEMS谐振器：从设计到实现的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，微机电系统（MEMS）技术作为一种融合了微电子技术与精密机械加工技术的前沿领域，正深刻地改变着众多行业的发展格局。MEMS谐振器作为MEMS技术中的关键器件，凭借其体积小、功耗低、易于集成等显著优势，在通信、汽车电子、物联网、生物医疗等领域发挥着不可或缺的作用，成为推动这些领域技术进步和创新发展的重要力量。

在通信领域，随着5G乃至未来6G通信技术的迅猛发展，对通信设备的性能提出了更高的要求。MEMS谐振器作为构建高性能射频滤波器和低相位噪声参考振荡器的核心