原创力文档行业标准《半导体级硅片工厂设计规范》
（征求意见稿）编制说明
主编单位：信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司
2025年12月23日
电子行业标准《半导体级硅片工厂设计规范》（以下简称《规范》）
在工业和信息化部的指导下，在工业和信息化部电子工业标准化研究院电
子工程标准定额站的组织管理下，编制组按照《规范》编制工作大纲内容
和时间要求，已顺利地完成了《规范》（征求意见稿）编制工作任务。编
制工作情况汇报如下：
一、工作简
行业标准《半导体级硅片工厂设计规范》
（征求意见稿）编制说明
主编单位：信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司
2025年12月23日
电子行业标准《半导体级硅片工厂设计规范》（以下简称《规范》）
在工业和信息化部的指导下，在工业和信息化部电子工业标准化研究院电
子工程标准定额站的组织管理下，编制组按照《规范》编制工作大纲内容
和时间要求，已顺利地完成了《规范》（征求意见稿）编制工作任务。编
制工作情况汇报如下：
一、工作简
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