CN119586078A 数据收集装置、数据收集系统、数据库创建方法以及程序 （三菱电机株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119586078A

(43)申请公布日2025.03.07

(21)申请号202280097734.9

(22)申请日2022.10.14

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.31

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2022/0383972022.10.14

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/079892JA2024.04.18

(71)申请人三菱电机株式会社地址日本东京

(72)发明人林英松斋川镇男富士原光辉角田佳祐

(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理

有限公司11112

专利代理师何立波张天舒

(51)Int.Cl.

H04L12/28(2006.01)

H04L61/00(2006.01)

权利要求书2页说明书11页附图11页

(54)发明名称

数据收集装置、数据收集系统、数据库创建

方法以及程序

(57)摘要

CN119586078A半导体制造系统中的数据收集装置(10)经由工业用网络(例如CC_LinkIETSN(三菱电机商标)、TSN网络)而与按照控制指令动作的多个被控制仪器连接。数据收集装置(10)具有：主通信单元(13)，其在每个通信周期中接收表示各个被控制仪器的运