摘要
随着集成光子学对器件小型化、高密度集成的迫切需求,硅波导凭借其亚微米级
尺寸和与CMOS工艺的天然兼容性,成为实现超紧凑光子芯片的理想载体。然而,传
统硅基光开关依赖自由载流子等离子体色散效应或热光效应调控,存在开关状态易受
外界干扰、需持续功率维持等固有缺陷,严重制约其性能与能效。针对这一挑战,本
文提出基于相变材料(Phase-ChangeMaterial,PCM)的非易失性硅基光开关新架构,通
过材料相态切换实现光学性能的稳定调控。具体工作如下:
1、研究了相变材料
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