《金刚石-铜复合微通道基板材料要求》.docxVIP

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团体标准

T/CAEEXX-202X

金刚石-铜复合微通道基板材料要求

Requirementsfordiamond-coppercompositemicrochannelsubstratematerials

2026-XX-XX发布

2026-XX-XX实施

中国电子装备技术开发协会发布

T/CAEEXX-2025

目次

前言 II

1范围 3

2规范性引用文件 3

3术语和定义 3

4基本要求 4

5材料组成与结构 5

5.1材料组成 5

5.2结构形式 5

5.3功能要求 5

6技术要求 5

6.1外观质量 5

6.2主要性能要求 6

6.3尺寸及公差 6

6.4表面质量 6

6.5微通道结构要求 7

7试验方法 7

7.1试验环境 7

7.2外观检验 7

7.3性能试验方法 7

7.4尺寸及公差试验方法 10

7.5表面质量试验方法 10

7.6微通道专项试验方法 10

7.7可靠性试验方法 11

8检验规则 11

8.1检验分类 11