42电容传感器输出特性传感器技术与应用22课件讲解.pptxVIP

传感器技术与应用主讲老师：王琨4.2电容传感器输出特性

???用泰勒级数展开，做线性处理(忽略高次项)后，电容相对变化量与电容极板的极距变化成正比??定义电容传感器灵敏度为1.变极距型（δ）

?讨论：变极距型电容传感器灵敏度与初始极距有关要提高传感器灵敏度k0应减小初始极距，但初始极距受电容击穿电压限制；另外，初始极距与灵敏度相矛盾，变极距型电容传感器适合测小位移；非线性误差随相对的位移的增加而增加，为保证线性度应限制相对位移，限制了测量范围；????为提高灵敏度和改善非线性，一般采用差动结构。1.变极距型（δ）

差动结构的电容特征方程式为：差动结构的平板电容忽略高次项，电容相对变化量为?差动式电容传感器比单个电容灵敏度提高一倍；非线性误差减小（多乘因子）。?结论：1.变极距型（δ）设电容的动极板移动时C1增加，C2减小，且△C1=△C2传感器（差动式）灵敏度?

平板电容的初始电容值为??电容的相对变化量与位移成正比平板变面积型电容传感器灵敏度???2.变面积型（S）

??讨论：输出特性为线性关系适合大位移测量可实现直线位移、角位移测量。2.变面积型（S）

变介电常数式电容传感器与传感器结构有关3.变介电常数式（ε）分以下几种情况：测介质厚度(纸张、