原创力文档项目二位移检测;;;玻璃透射光栅和金属反射光栅的栅距只采用20μm和40μm,对衍射光栅栅距采用4μm和8μm(1nm光栅除外),光学二倍频后信号周期为2μm和4μm。高级光栅尺要求开式光栅一个信号周期的位置偏差仅为±1%,闭式光栅仅为±2%。光栅信号周期及位置偏差见表2-4。;在机床使用中,有专门为光栅传感器和CNC相连接设计的光栅倍频器,也就是将光栅传感器输出的正弦信号(一个周期是一个栅距)进行插补和数字化处理后给出相位差为90°的方波,其细分数有5、10、25、50、100、200
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