《微束分析 电子探针显微分析 波谱法实验参数测定导则》.docxVIP

1

微束分析电子探针显微分析波谱法实验参数测定导则

1范围

本文件规定了进行电子探针显微分析时的电子探针、波谱仪和试样的实验参数测定的一般原则，并规定了探针电流、探针直径、死时间、波长分辨率、背底、分析面积、分析深度和分析体积的测定过程。

本文件适用于垂直入射电子束对抛光试样的分析，本文件不适用于能谱法。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

ISO/IEC17025:2017检测和校准实验室能力的通用要求（Generalrequirementsforthecompetenceoftestingandcalibrationlaboratories）

注：GB/T27025—2019检测和校准实验室能力的通用要求(ISO/IEC17025:2017,IDT)

ISO23833:2013微束分析电子探针显微分析（EPMA）术语[MicrobeamAnalysis–ElectronProbeMicroAnalysis(EPMA)–Vocabulary]

注：GB/T21636-2021微束分析电子探针显微分析（EPMA）术语(ISO23833:2