半导体AMHS行业深度洞察：技术迭代、产能竞赛与全球供应链重构.docx

全球市场研究报告

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半导体AMHS行业深度洞察：技术迭代、产能竞赛与全球供应链重构

一、半导体AMHS定义

半导体自动化物料搬运系统（AMHS，Automated?Material?Handling?System）是晶圆厂/封装厂的核心基础设施，通过集成轨道运输车（OHT）、空中单轨（AMR）、存储货架（Stocker）及智能调度软件，实现晶圆盒（FOUP）在光刻、蚀刻、清洗等工艺设备间的全流程自动化传输。其核心价值在于：

零接触传输：通过机械臂与传感器实现晶圆盒的无尘搬运，降低人为污染风险；

高精度调度