CN120097273A 一种集成加热和测温功能的双腔室mems原子气室及制作方法 (浙江大学).pdfVIP

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  • 2026-05-21 发布于重庆
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CN120097273A 一种集成加热和测温功能的双腔室mems原子气室及制作方法 (浙江大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120097273A

(43)申请公布日2025.06.06

(21)申请号202510321991.1

(22)申请日2025.03.19

(71)申请人浙江大学

地址310000浙江省杭州市西湖区余杭塘

路866号

(72)发明人车录锋钟涵玉

(74)专利代理机构绍兴锋行知识产权代理事务

所(普通合伙)33460

专利代理师徐锋

(51)Int.Cl.

B81B7/00(2006.01)

B81B7/02(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

权利要求书2页说明书8页

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