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微机电系统;第二章

MEMS的设计;金刚石立方形式=面心立方结构+沿对角线错位1/4

晶格常数a=5.43?

每一个硅原子和与之紧邻的四个硅原子组成一个正四面体结构;晶面与晶面族——（），三点性质。一般简称晶面

不平行的晶面族——{}

晶向——[];各向异性;材料性质——无缺陷晶体

材料变形——原子偏离晶格节点原平衡位置

几何模型——

所有格点用位置矩阵表达

空间节点铰接桁架结构模型

晶格点上的作用力——

惯性力（外力）+原子间作用力（内力）

边界条件

接触面固定，则该面上所有的位移为零

晶体内晶面之间的关系;动力学例：大象S/V=10-4/mm，蜻蜓S/V=10-1/mm;微镜是光纤通信网络中微开关的必要零件，要求高速旋转，取决于角动量;2、刚体动力学中的尺度效应;这个矩阵与描述系统运动尺度的加速度a、时间t和功率密度等参数有关，这个矩阵称为力尺度向量F;功率密度为每单位体积V0供应的功率p。能量在MEMS的设计中是一个很重要的参数，能量不足导致系统无法运动，能量过大可使系统结构损坏，过大功率会增加运行成本，同时也会缩短器件的工作寿命。刚体作功，W=FS，功率P=W/T

功率密度

则功率密度的尺度向量；

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