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CN120138608A 一种连续cvd处理装置及其高硅钢板制备方法 （东北大学）.pdfVIP

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  • 2026-05-21 发布于重庆
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CN120138608A 一种连续cvd处理装置及其高硅钢板制备方法 （东北大学）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN120138608A

    (43)申请公布日2025.06.13

    (21)申请号202510334183.9

    (22)申请日2025.03.20

    (71)申请人东北大学

    地址110819辽宁省沈阳市和平区文化路3

    号巷11号

    (72)发明人刘振宇毛宇奇李成刚

    (74)专利代理机构沈阳东大知识产权代理有限

    公司21109

    专利代理师梁焱

    (51)Int.Cl.

    C23C16/455(2006.01)

    权利要求书2页说明书6页附图2页

    (54)发明名称

    一种连续CVD处理装置及其高硅钢板制备方

    法

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