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《双频等离子体加工用射频电源性能评价规范》.pdfVIP

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  • 2026-05-21 发布于河南
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《双频等离子体加工用射频电源性能评价规范》.pdf

    ICS19.080

    CCSK80

    T

    团体标准

    T/TMAC×××—202X

    双频等离子体加工用射频电源性能评价规范

    Performanceevaluationspecificationforradiofrequency

    powersupplyusedindual-frequencyplasmaprocessing

    （征求意见稿）

    ××××-××-××发布××××-××-××实施

    中国技术市场协会发布

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