原创力文档2026/5/19;暖通;;;;;;;;;11;空气洁净
度等级(N)
;3.洁净室的形态
洁净室根据不同时段的运行状况可以分为三种状态，即：
空态：已经建造完成并可以投入使用的洁净室（设施）。它具备所有有关的服务和功能。但是，在设施内没有操作人员操作的设备。
静态：各种功能完备、设定安装妥当，可以按照设定使用或正在使用的洁净室（设施），但是设施内没有操作人员。
动态：处于正常使用的洁净室，服务功能完善，有设备和人员；如果需要，可从事正常的工作。
;4.洁净室的日常维护
1)尘粒来源
外气引入
人员带入
制程设备运转产生
文档评论（0）