扫描电子显微镜的主要性能94课件讲解.pptx

扫描电子显微镜的主要性能

分辨率是SEM区分样品表面相邻两点的最小距离，因此，是扫描电镜电子光学成像系统的关键性能指标。

目前，采用钨灯丝电子枪扫描电镜的分辨率最高可以达到3.5nm，采用场发射电子枪扫描电镜的分辨率可达1nm。

钨灯丝扫描电镜

场发射扫描电镜

影响分辨率的关键因素有两个：一是电子束的束斑尺寸，束斑越小，能分辨的细节越精细；二是信号类型，二次电子信号的分辨率远高于背散射电子信号。当电子束与高原子序数样品相互作用时，其作用体积为半球形，电子束进入表面后立即横向扩展。因此，在分析高原子序数元素时，即使电子束斑很细，也很难达到较高分辨率，因为二次电子和背散