热阴极离子镀制备CrNx薄膜及其抗氧化性能的深度剖析与应用探索.docx

热阴极离子镀制备CrNx薄膜及其抗氧化性能的深度剖析与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代制造业中，金属切削作为零件成型的关键加工手段，始终占据着极为重要的地位。近年来，随着数控技术的迅猛发展，高速切削和干切削技术得到了广泛应用，这对刀具的性能提出了更为严苛的要求。在切削过程中，刀刃与加工材料的接触面会产生大量的切削热，而刀具刃部散热困难，导致热磨损或氧化磨损现象严重，这无疑降低了材料的加工精度。为了解决这一问题，提高刀具的使用寿命，在刀具表面镀覆硬质薄膜成为了一种行之有效的方法。

物理气相沉积（PVD）技术作为制备硬质薄膜的重要手段，具有沉积温度低、薄膜质量高、对基体性能影响小