Lambda Vision LVmicroZ显微分光光度计:彩色光刻胶色度和辉度测试方案.docxVIP

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  • 2026-05-23 发布于上海
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Lambda Vision LVmicroZ显微分光光度计:彩色光刻胶色度和辉度测试方案.docx

TFT-LCD、OLED显示器的背光源通常发出的是白光。彩色光刻胶通过光刻工艺,在玻璃基板上形成微小的红(Red)、绿(Green)、蓝(Blue)三个基本颜色的像素点阵。当背光透过这些带有颜色的像素点时,通过控制不同颜色光的透光强度,就能混合出千变万化的色彩,从而让屏幕显示出彩色图像。大多数彩色光刻胶属于负性光刻胶。在制造过程中,将彩色光刻胶均匀涂布在基板上,通过带有特定图案的掩膜版进行紫外线曝光。被光照射到的部分会发生交联固化反应,变得不溶于显影液;未被光照射到的部分则在显影时被洗去。红、绿、蓝三种颜色的光刻胶需要分别进行一次“涂布-曝光-显影”的循环,最终形成完整的彩色滤光层ColorFilter。

彩色光刻胶实验室研发主要涉及光敏聚酰亚胺体系,酚醛树脂-重氮萘醌体系,聚乙烯醇体系和丙烯酸体系。

160倍显微镜看不同手机屏幕ColorFilter排列

彩色光刻胶常用研发工艺流程如下:

旋涂(SpinCoating):使用匀胶机将光刻胶涂布在洁净的玻璃基板上。

前烘(Pre-bake):在热板上(约90-100℃)烘烤1-2分钟,挥发溶剂。

曝光(Exposure):使用紫外光刻机(MaskAligner),透过掩膜版进行UV曝光。

显影(Development):浸入或喷淋弱碱性显影液(如0.04%KOH或TMAH溶液),洗去未曝光部分。

后烘(Post-bake)

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