原创力文档摘要
分布反馈(DistributedFeedback,DFB)半导体激光器凭借体积小、寿命长、波长覆盖
范围广、可直接电流驱动等特点，在光通信、精密制造、气体检测、激光雷达以及国防
军事等诸多领域被广泛应用。为实现高效注入电流效果和简化工艺步骤，通常采用侧向
耦合分布反馈(Laterally-coupledDistributedFeedback，LC-DFB)半导体激光器。通过结合
窄脊波导和光栅结构的DFB激光器，可以有效优化激光器的横模模式特性，以确保稳
定的基横模输出，但由于其
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