CN119602742A 具有布拉格反射层的空腔型体声波谐振器及其制备方法 （广州市艾佛光通科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119602742A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202411800494.1

(22)申请日2024.12.09

(71)申请人广州市艾佛光通科技有限公司

地址510700广东省广州市黄埔区瑞吉二

街49号201房

(72)发明人李国强支国伟

(74)专利代理机构广东海融科创知识产权代理事务所(普通合伙)44377

专利代理师梁炜东

(51)Int.Cl.

H03H9/17(2006.01)

H03H9/02(2006.01)

H03H3/02(2006.01)

H10N30/06(2023.01)

权利要求书1页说明书5页附图2页

(54)发明名称

具有布拉格反射层的空腔型体声波谐振器

及其制备方法

(57)摘要

CN119602742A本发明提供了一种具有布拉格反射层的空腔型体声波谐振器及其制备方法，涉及体声波谐振器制造技术领域。该空腔型体声波谐振器包括依次层叠的第一衬底、底电极、压电层和顶电极，第一衬底和底电极之间设置有空腔，空腔设置有多个支撑柱，支撑柱用于支撑第一衬底和底电极，且每个支撑柱均包括至少一组布拉格反射层，布拉格反射层由第一材料和第二材料层叠而成，且第一材料的声阻抗高于第二材料的声阻抗。本发明的空腔型体声波