CN119604033A 一种功率器件布局结构及其制造方法 （上海瀚薪科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119604033A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202510143168.6

(22)申请日2025.02.10

(71)申请人上海瀚薪科技有限公司

地址201703上海市青浦区沪青平公路

2855弄1-72号B座12层B区1225室

(72)发明人陈科成李隆盛洪建中李隆正

(74)专利代理机构上海三方专利事务所(普通合伙)31127

专利代理师吴玮

(51)Int.Cl.

H10D89/10(2025.01)

H10D62/17(2025.01)

H10D64/27(2025.01)

H10D30/60(2025.01)

H10D30/01(2025.01)

权利要求书2页说明书5页附图4页

(54)发明名称

一种功率器件布局结构及其制造方法

(57)摘要

CN119604033A本申请涉及半导体技术领域，提供一种功率器件布局结构及其制造方法，功率器件布局结构包括沿第一方向和第二方向重复排列的多个元胞，元胞包括：P型阱区掺杂区、N型重掺杂区、P型重掺杂区、JFET区掺杂区、栅极和源极通孔，每个元胞的第一主岛部分与在第一方向上相邻的元胞的第一辅助臂连接，每个元胞的第一辅助臂与在第二方向上相邻一个元胞的第一辅助