原创力文档IEC62047-21：半导体器件——微机电系统
——第21部分：MEMS薄膜试验方法
微机电系统用薄膜材料力学性能的标准化表征技术
IEC62047-21于2014年发布，是MEMS器件系列标准IEC62047的一部分，规定了确定MEMS制造
中使用的薄膜力学性能的标准化试验方法。该标准由IEC第47技术委员会制定，解决了MEMS工程中
的一个关键挑战：微米尺度下薄膜材料的力学性能可能与块体材料有显著差异，而这些性能直接决
定器件的性能、良率和长期可靠性。随着MEMS技术从汽车传感器扩
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